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目前在世界范圍內已有數千家水廠采用臭氧消毒法，該法是一種成熟的方法。與氯化消毒相比，臭氧具有更強的消毒功能水中臭氧水中臭氧voc氣體檢測儀，臭氧的滅活力與氯氣相比較是它的10-100倍。

臭氧對微生物的滅活機制還有許多不明點，有人認為臭氧可以全部氧化酶系統，并能作用于細胞內的物質如核酸中的嘌呤和嘧啶。臭氧對細菌的滅活是先攻擊細胞膜，或通過糖蛋白或糖脂和某些氨基酸而使細菌滅活；臭氧還能對某些酶的硫基作用，破壞細菌酶的活性水中臭氧，使被臭氧氧化的細菌失去了其降解糖類和產氣的能力。也有人認為對細菌的滅活是由于破壞了細胞壁、細胞膜或者細胞內的主要成分的流出而造成殺菌的效果。

對病毒的滅活機理，有的說法是臭氧對病毒作用的首要部位是病毒的外殼，特別是形成它的蛋白質而阻礙了病毒對宿主菌的吸附。另一種說法認為酒精檢測儀，臭氧損傷了核酸。

在實驗中我們得知，水中的其他臭氧消耗物質如鐵、錳和有機物等妨礙了臭氧對細菌的滅活。當有機物與細菌同時存在時，高濃度的有機物有比細菌爭先與臭氧反應的趨勢，另一部分細菌進入有機物膠團內部，得到保護，而逃脫了臭氧的攻擊。因此，造成大腸桿菌的滅活率低。

但臭氧消毒也存在弱點，臭氧極不穩定，易分解，在配水管網中起不到防止二次污染的作用，且消毒成本高。

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